易度智能MC100系列，是一款高性能低漂移量氣體質量流量控制器，具有極低的溫度漂移和壓力漂移量，可以確保產品長期使用的穩定性和可靠性，減少維護、調試、校準的頻率，降低客戶維護成本。

特征：

l 原理：層流壓差式原理

l 便捷操作：提供上位機軟件設定流量。

l 核心優勢：低漂移量，高穩定性和可靠性，抗氣源波動能力強

l 寬溫度、寬壓力適用范圍：-20℃~60℃、1Mpa以內

l 實時顯示4種過程變量

l 內置60多種氣體，自由切換氣體，無需查找、輸入系數，并可自主編輯混合氣體

l 無需預熱時間，開機即可使用，即插即用。

l 可切換為流量計模式使用

產品規格：

l 產品型號：MC100

l 量程范圍：0.5sccm~550slpm

l 閥門種類：N/C（常閉型）

性能參數：

l 精度：±1.0%S.P.(設定值)(20%～100%量程范圍)   ±0.2%F.S.(滿量程)(1%～10%量程范圍)

l 重復精度：±0.2%F.S.

l 壓力漂移：Zero：≤±0.2%F.S./100Kpa；    Span：≤±0.2%F.S./100Kpa（基準100kPa(絕壓))

l 溫度漂移：Zero：≤±0.02%F.S./℃；             Span：≤±0.02%F.S./℃（基準溫度25℃）

l 零點漂移：±0.2%F.S./年

l 工作范圍：1%~100%F.S.

l 響應時間：≤700ms.

l 啟動預熱時間：1s

使用條件：

l 介質溫度：-20℃~60℃

l 環境溫度：-20℃~50℃

l 使用濕度：0%~98%（無冷凝）

l 工作壓力：0~1Mpa

l 耐壓：1.5Mpa

l 工作壓差范圍：100kPa~800kPa

l 供電電壓：24V±20%

l 消耗電流：＜500mA （＜12V）

l 安裝方式：任意角度

l 接氣部材質：SUS316L

l 進出口：管螺紋（內螺紋）

l 接氣部密封材質：橡膠圈密封：氟橡膠

通訊方式：

l 數字信號：RS485，Profibus

l 模擬信號：4-20mA，0-5V

應用場景

l 標定臺系統搭建中的流量控制設備

l 需要大范圍調整流量的流控系統或設備集成

l 簡化集成設備或對設備體積敏感的場景

l 需要調控比較大流量的實驗研究場合

MC100高性能低漂移量氣體質量流量控制器在于具有高精度的溫度和壓力傳感器，確保產品具有極低的溫度和壓力漂移量，對于用戶來講，長期使用依然可以保證產品具有很高的準確度和重復性，確保用戶整機流量測控的穩定性和可靠性，減少用戶維護成本。