氣體質量流量計【簡稱MFM】基于內部補償型*層流壓差技術，內置壓力和溫度傳感器，能充分補償因溫度和壓力引起的體積流量和質量流量間的差異，可快速精確測量過程氣體的實時溫度、壓力、工況流量、標況流量和累計流量五大參數。用于精確和快速測量氣體流量、泄露率檢測或作為標準表進行量值傳遞與校準等。

特征：

l 原理：層流壓差式原理

l 便捷操作：可觸屏點擊操作、讀取流量，或者提供上位機軟件操作。

l 核心優勢：高精度、高重復性、快速響應

l 寬溫度、寬壓力適用范圍：-20℃~60℃、1Mpa以內

l 實時顯示5種過程變量

l 內置49種氣體，，一鍵自由切換氣體，無需查找、輸入系數，并可自主編輯混合氣體

l 無需預熱時間，開機即可使用，即插即用。

產品規格：

l 產品型號：

S系列-帶觸摸屏系列流量計，可觸屏操作讀取數據，方便工況現場使用，無需電腦，像手機一樣方便。

M系列：無屏幕系列流量計，可通過上位機軟件操作、讀取數據，適用配套用戶，軟件可同時測控16臺流量計或控制器。

l 量程范圍：0.5sccm~5000slpm

性能參數：

l 精度：±1.0%RD , ± 0.5%RD

l 重復精度：±0.2%F.S.    ±0.1%F.S.

l 壓力漂移：Zero：≤±0.2%F.S./100Kpa；    Span：≤±0.2%F.S./100Kpa（基準100KPa(絕壓))

l 溫度漂移：Zero：≤±0.02%F.S./℃；             Span：≤±0.02%F.S./℃（基準溫度20℃）

l 工作范圍：1%~120%F.S.

l 響應時間：≤100ms.

l 啟動預熱時間：1s

使用條件：

l 介質溫度：-20℃~60℃

l 環境溫度：-20℃~50℃

l 使用濕度：0%~98%（無冷凝）

l 工作壓力：0~1Mpa

l 耐壓：1.5Mpa

l 壓損：4kPa~12kPa

l 供電電壓：24V±20%

l 消耗電流：＜150mA （＜5V）

l 安裝方式：任意角度

l 接氣部材質：SUS304，SUS316L

l 進出口：管螺紋（內螺紋）

l 接氣部密封材質：橡膠圈密封：氟橡膠

通訊方式：

l 數字信號：RS485，Profibus

l 模擬信號：4-20mA，0-5V

應用場景

l 配套流量校準平臺的流量測量設備

l 實驗中的氣體流量測量

l 機械動力測試系統中的氣體流量測量

l 材料制備實驗中的中的氣體流量測量

l 真空實驗艙及真空試驗系統中的氣體流量測量

l 生物反應器實驗裝置中的氣體流量測量

l 高精度實驗儀器的研發和試制

l 分析測試儀器

易度智能層流壓差式氣體質量流量計通用于工業配套、高校研究院所實驗室等氣體流量測量。